


适用于合金钢材料,钛合金,特殊合金, 石墨,碳化硅,碳化
钨,铝合金,铜合金,工具钢,钨块,异性金属端面,平面度高精度研磨检测。
一.首先采用密封面平面度检测仪 对研磨后的器件平面采用平面度检测仪定初步精度 ;
二、如研磨后的器件达到5um以内 可以用平晶进行检测 未达到 继续研磨 器件可以不用下盘。
三、达到5um以内用平面平晶体检测,首先看是否有条纹。是否合格 以300的密封器件为例。 检测的整个面 必须首先看到同心圆才合格,2um的面型精度,整个面的同心圆条纹,小于3个,1个同心圆条纹精度大于在0.8um (200的为0.2um)3个就是2.4um左右,也就是说必须小于3个同心圆条纹才合格。